無(wú)塵車(chē)間在廠房?jī)艋こ讨杏直环Q(chēng)為凈化車(chē)間、無(wú)塵室、潔凈室，對(duì)空氣潔凈度、溫度、壓力以及密封性等都有著高標(biāo)準(zhǔn)要求。然而，在無(wú)塵廠房裝修建設(shè)中，像半導(dǎo)體電子潔凈間的潔凈度要求通常都在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上，微?？刂剖謬?yán)格，要求控制在0.02µm，甚至更小粒徑。
•3000平電子車(chē)間無(wú)塵廠房裝修效果圖
本案例是一個(gè)3000平電子車(chē)間無(wú)塵廠房裝修項(xiàng)目，設(shè)計(jì)上滿足潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝幺求，并根據(jù)使用情況做了后續(xù)產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展工藝改進(jìn)的空間預(yù)留。設(shè)計(jì)方案功能上嚴(yán)格執(zhí)行國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范。
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根據(jù)電子廠對(duì)無(wú)塵車(chē)間的要求，我們對(duì)潔凈區(qū)的溫度和相對(duì)濕度做了進(jìn)一步確定，單向流和混合流潔凈區(qū)以及非單向流區(qū)域的噪聲級(jí)分別做了不大于65db和60db的調(diào)整。要知道，電子類(lèi)的潔凈廠房垂直單向流的空間包括吊頂以上的技術(shù)夾層。
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電子潔凈廠的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)，廠房?jī)?nèi)部防火分區(qū)的劃分，應(yīng)符合《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》有關(guān)的國(guó)家規(guī)定，專(zhuān)用消防口的設(shè)計(jì)，符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定。
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與此同時(shí)，電子車(chē)間無(wú)塵廠房裝修對(duì)潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級(jí)、平均風(fēng)速、換氣次數(shù)有著明確要求，送風(fēng)量和氣流流型可以參考以下靜態(tài)標(biāo)準(zhǔn)：
1.空氣潔凈度等級(jí)1~5的單向流或混合流，平均每秒風(fēng)速0.2~0.045；
2.空氣潔凈度等級(jí)6的非單向流，換氣次數(shù)50~60次；
3.空氣潔凈度等級(jí)7的非單向流，換氣次數(shù)15~25次；
4.空氣潔凈度等級(jí)8~9的非單項(xiàng)流，換氣次數(shù)10~15次。
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此外，對(duì)排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸性的危險(xiǎn)物質(zhì)的排氣管路，需保持一定的負(fù)壓值，且事故排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h，自動(dòng)和手動(dòng)控制開(kāi)關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈區(qū)外便于操作的地點(diǎn)。
